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专用于振动环境的同步相移技术--ESDI
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工作原理
 
采用专利技术的HyperPhase™模块代替标准相机在Intellium H2000内部实现同步相移。
 
HyperPhase™模块可以产生三幅超精密的相移干涉图,而且干涉图可同时获取并进行处理以形成三维面形图。
 
HyperPhase™模块非常稳定,并有校准和相移质保终身服务。
 
应用
用于测量物体高速运动,如液体流动和热力学系统;
采用大型扩束器可实现高精度测量;
对加工零件、磁盘和半导体晶片进行现场测量;
对生产流程进行检测;
进行多光学元件系统的长光程测量。
 
主要特征和优势
振动不敏感性
抓拍物体速度最小至10微秒
最大分辨率1024x768
紧凑的封装结构-190 mm (7.5”) x 370 mm (14.6”)
标准的光学参考元件102 mm (4”)
终身的光学校准服务
IntelliPhaseTM-静态空域载频分析

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